Nb₃Sn材料在射频超导领域的应用，被公认为下一代射频超导关键技术以及主要的新材料突破方向。中国科学院近代物理研究所在国内基础为零的情况下，率先开展Nb₃Sn薄膜超导腔研制与应用的关键物理问题研究，经过5年持续攻关实现了全过程突破。自主搭建国内首台能够在极端条件下稳定运行、实现全温区高重复精准控温、可以涵盖当前所有主流形状Nb₃Sn薄膜超导腔研制需求的大型镀膜设备，填补了国内空白。在国内率先开展从生长机理、工艺优化到表面改性的Nb₃Sn薄膜超导腔研制全过程关键物理问题研究，提出了高质量Nb₃Sn薄膜生长标准，研制的Nb₃Sn薄膜超导腔性能达到国际水平，突破了技术封锁。国内率先开展采用小型商业制冷机通过固体传导冷却方式驱动Nb₃Sn薄膜超导腔运行的无液氦射频超导技术研究，独立观察到通过循环升降温可以有效提高射频性能的现象。国际首次完成了固体传导冷却无液氦Nb₃Sn超导电子加速器的成功研制与稳定载束，为Nb₃Sn薄膜超导腔在大科学装置与小型工业化的应用均提供了原理性验证，被国际同行一致评价为射频超导领域的重大成果，实现了从跟跑、并跑到引领的跨越。
 

射频超导加速器,铌三锡薄膜,锡蒸汽扩散,工艺优化,传导冷却