薄膜电容器喷金层结构与性能调控
编号:132
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更新:2025-04-10 09:20:10 浏览:16次
口头报告
摘要
薄膜电容器喷金层作为电荷传输的关键界面,其质量直接影响器件整体性能。传统电弧喷涂工艺因其较高的热输入易导致材料损伤,而冷喷涂技术以其低温沉积特性成为极具潜力的优化方案。本研究采用电弧喷涂与冷喷涂技术制备Cu/ZnAl复合喷金层,比较该复合涂层与电弧ZnAl复合喷金层对电容器性能的影响。实验结果表明,相较于单纯电弧喷涂制备的ZnAl喷金层,采用电弧喷涂与冷喷涂制备的Cu/ZnAl复合喷金层具有更致密的微观结构(孔隙率<1%)和更高均匀性,使薄膜电容器的电导率与热导率提升了10倍和5倍。为进一步提高冷喷涂涂层与基体的界面结合强度,本研究尝试采用激光辅助冷喷涂技术,并研究激光的强化机制及其对涂层/基体的影响。研究发现,激光辐照对冷喷涂颗粒的温度场影响较小,而主要作用体现在对基体的热软化效应。以上发现不仅为冷喷涂技术在薄膜电容器表面改性领域的工程应用提供了基础数据,也为激光-冷喷涂复合工艺的优化设计提供了理论依据。
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