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半导体氧化虚拟仿真实验

  本作品采用3DMAX对实验器材模型进行建模，使用VR技术对半导体氧化工艺实验进行实验器材和实验室环境以及实验过程操作的仿真，建立了相对真实的实验室环境和实验器材，通过VR虚拟大屏幕和手柄射线交互的方式展示实验过程，使学生能够沉浸式深度体验实验过程；采用手柄可以操作相对应的实验基础器材（如：使用烧杯、氧化炉和超声波清洗机的相关按钮等），并根据学生的操作给出相对的反馈（如：实验器材上的数字标识、页面相对应的提示信息、以及实时的语音播报等功能）帮助学生完成实验。本作品采用了Unity3D软件进行开发，结合了SteamVR插件以及多种主流的VR功能插件，并且为了更加真实的接近实际的使用环境，作品采用了URP的渲染管线渲染模型，达到了良好的半导体氧化工艺虚拟仿真的效果。