高超声速飞行器飞行时，周围的大气被高温激发电离，形成一层包覆在飞行器表面的等离子鞘套，而等离子体鞘套的电子密度是影响其包覆目标电磁传播性能的重要参数。为进一步提高对等离子体参数诊断的能力，本文以可产生大体积、均匀等离子体的射频电容耦合放电装置和氩气为工质气体建立试验平台，改变放电功率和放电气压进行放电实验。通过采集发射光谱并结合碰撞辐射模型对等离子体电子密度与电子温度进行诊断，之后与其他诊断方法进行对比，结果表明：在放电气压一定的条件下，随着放电功率从100W增大到400W，电子密度从1.1×10¹⁰ cm^-3增大到9.6×10¹⁰cm^-3，与微波干涉法的误差不高于55%；电子温度从3.54eV降低到2.72eV，与探针法的误差不高于24%。

容性耦合等离子体；发射光谱；碰撞辐射模型；电子密度；电子温度