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基于多层复合电极的高功率耐受性声表面波滤波器
编号：42 访问权限：仅限参会人 更新：2021-11-24 09:06:53 浏览：400次 口头报告

报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）

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摘要
基于多层复合电极的高功率耐受性声表面波滤波器
苏荣宣 傅肃磊 潘峰 清华大学材料学院
本文采用有限元法阐明了声波传播过程中的应力分布情况，并基于底部的应力集中状态针对性设计并制备了Al-Cu/Ti/Cu/Ti、Ti/Cu/Ti/Cu/Ti等新型电极材料，通过在电极底部形成细晶粒区来提高换能器抵抗交变应力的能力。材料分析表明电极均具有强（111）织构和较高的平整度。基于复合电极的声表面波滤波器均表现出低损耗、高带外抑制的电学响应，证明电极结构的改变不会恶化器件的滤波性能。功率测试表明基于多层电极的滤波器承受功率是传统电极的接近1.7倍，且一定功率下的寿命时间可以提升10000倍。本文为5G时代高功率、小型化声表面波器件提供了一种工艺简单、成本低廉的电极材料方案。
 
关键词
声表面波,薄膜滤波器 多层膜 仿真分析,纳米多层膜,高功率耐受性
报告人
苏荣宣
清华大学材料学院

稿件作者
苏荣宣 清华大学材料学院
傅肃磊 清华大学材料学院
潘峰 清华大学
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重要日期

  • 会议日期

    12月15日

    2023

    至

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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