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ITO/Ag/ITO多层薄膜的力学性能研究

多层薄膜,力学性能,表面形貌,结构特性,残余应力

ITO/Ag/ITO多层薄膜已经成为传统单层导电薄膜（TCFs）潜在的替代品，然而在ITO/Ag/ITO多层薄膜制备及服役过程中力学性能的稳定性、可靠性将限制其广泛地发展与应用。本文首次系统地研究了不同结构性能和表面形貌对ITO/Ag/ITO多层膜力学性能和残余应力的影响，并与传统单层ITO导电薄膜进行了对比讨论。研究发现：1）三层复合结构对材料的择优取向有很大影响，其中ITO/Ag/ITO多层薄膜仅表现为单一择优取向，并具有更低的晶格净畸变和残余应力，与商业化TCFs相比表面质量更优；2）充分退火处理的ITO/Ag/ITO多层薄膜相比于无定形沉积态的多层薄膜硬度（H）显著增加而杨氏模量（E）略有降低；3）随着退火温度升高，H/E和H³/E²增加，ITO/Ag/ITO多层薄膜的耐磨性显著提高，因此可以通过制备多层复合薄膜来调节材料的力学性能。