目前，由于医疗科技的飞速发展，植入生物体中的关节在生命体中既需要保证良好的耐磨性能又需要保证其具有良好的生物相容性，新兴的有机固态润滑薄膜可以满足上述对关节表面复合性能提升的要求。DLC薄膜作为固态润滑材料已经被应用于航空航天等多个重要领域。本文模拟TiN基底上不同沉积粒子在不同入射能量入射状态下沉积生成的DLC薄膜内部杂化键情况,以寻求TiN上制备耐磨DLC涂层的最佳工艺。本文利用lammps分子动力学模拟仿真软件，采用COMB势函数，以及NPT热浴系统对模型进行模拟仿真。选取边长为21.2Å、高17.73Å的TiN作为模型基底，基底上方进行热浴与沉积粒子相结合，基底下方四层作为固定层，保证整个模型在模拟过程中不发生移动。在设定温度为300K，真空度为0.1Pa的恒定初始条件下，沉积C₂H₂粒和CH₄粒子。最终得到密度在196~201Kg/m³之间，杂化键比例ID/IG在0.19~0.28之间不同类型的DLC薄膜，高sp³杂化键有助于DLC薄膜耐磨性能的提升。通过分析数据结果可知，沉积粒子的C：H比接近1:1生成的DLC薄膜具有更多的sp³杂化键，表现出的宏观耐磨性能更优异，并且对比CH₄和C₂H₂粒子的入射能量可以得出，C₂H₂在低能量下沉积生长后的DLC薄膜sp³杂化键更多。

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