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128 / 2019-10-27 18:06:32
磁场对中频溅射阴极刻蚀作用机理研究
磁场,中频磁控溅射阴极,可移动圆柱磁铁
全体主题 > 薄膜技术应用与产业化
全文待审
何云鹏 / 东北大学
毕诗博 / 东北大学
张家乐 / 东北大学
飞孙 / 东北大学
磊王 / 东北大学
吕少波 / 中国科学院大连化学物理研究所
王瑞生 / 沈阳仪表科学研究院有限公司
增蔺 / 东北大学
重要日期

  • 会议日期

    11月15日

    2019

    至

    11月18日

    2019

  • 11月01日 2019

    初稿截稿日期

  • 11月18日 2019

    注册截止日期

承办单位
浙江大学
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