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ID / 提交时间

223 / 2019-06-21 09:48:34

标题

一种薄膜材料电阻率测试用环形电极设计

关键字

计量学;电阻率测试；薄膜材料;环形电极

主题及专题

全体主题 > Measurement and Instrumentation for Industrial Applications

状态

摘要录用

作者

北辰国 / 北京东方计量测试研究所

摘要

针对高电阻率薄膜材料的电阻率测试问题进行研究，通过对现有高阻值电阻率测试环形电极设计方法进行仿真理论分析，结合数学模型推导，提出一种环形电极有效测试宽度及尺寸设计取值方法，并制成薄膜材料测试用环形电极装置一台。通过实验实现了航天器用薄膜材料表面电阻率和体电阻率测量，相对示值误差可控制在9%范围内。可以应用于体积电阻率在105~1018Ω·cm的航天器用复合材料电阻率测试。