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辉光放电光谱仪在表面分析中的应用

脉冲射频辉光放电光谱仪将脉冲射频供电的辉光放电源和高灵敏度的发射光谱仪完美
的结合到了一起。前者具有很高的深度分辨率，可对样品分析区域逐层溅射、剥蚀；后者可
实时监测所有感兴趣元素，并记录这些元素随剥蚀深度的变化趋势。分析深度可从几纳米到
200 微米，可覆盖大部分的薄、厚镀层。
辉光放电光谱仪最初起源于钢铁行业，主要被用于镀锌钢板及钢铁表面钝化膜等的测
定，但随着辉光放电光谱技术的逐步完善，仪器的性能也得以提升，可分析的材料越来越广
泛。现已将应用领域拓展至半导体、太阳能光伏、锂电池、硬盘等。