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2 / 2017-09-15 17:30:47
辉光放电光谱仪在材料领域的应用
辉光放电、射频源、脉冲、应用
全文待审
脉冲式射频辉光放电光谱仪将脉冲射频供电的辉光放电源和高灵敏度的发射光谱仪完美结合。前者具有良好的深度分辨率，可对样品分析区域逐层溅射、剥蚀；后者可实时监测所有感兴趣元素，并记录这些元素随剥蚀深度的变化趋势。分析深度可从几纳米到200微米，可覆盖大部分的薄、厚镀层。
辉光放电光谱仪也由最初钢铁行业中镀锌钢板及钢铁表面钝化膜等的测定到现在半导体器件、太阳能光伏、锂电池及核材料的测定，应用领域逐渐扩展到各类镀膜材料。这有赖于整体性能的提升及射频辉光源的应用。
辉光放电光谱仪也由最初钢铁行业中镀锌钢板及钢铁表面钝化膜等的测定到现在半导体器件、太阳能光伏、锂电池及核材料的测定，应用领域逐渐扩展到各类镀膜材料。这有赖于整体性能的提升及射频辉光源的应用。
重要日期
-
会议日期
10月19日
2017
至10月20日
2017
-
08月20日 2017
摘要截稿日期
-
09月20日 2017
初稿截稿日期
-
10月20日 2017
注册截止日期
主办单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
承办单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
联系方式
- 钱荣
- qi******@mail.sic.ac.cn
- 135********
- 021*********
